Struchtúr Meaisín Eitseála Plasma

Tá ceithre chuid den chuid is mó i dtrealamh ICP: seomra folúis réamh-, seomra eitseála, córas soláthair gáis agus córas folúis.

(1) Seomra folúis roimh-

Is é feidhm an tseomra folúis réamh-a chinntiú go gcoimeádtar an seomra eitseála ag leibhéal folúis socraithe, nach ndéanann an timpeallacht sheachtrach (cosúil le deannach, gal uisce) difear dó, agus go ndéantar gáis ghuaiseacha a leithlisiú ón seomra glan. Tá sé comhdhéanta de chlúdach, manipulator, meicníocht tarchurtha, doras leithlis, etc.

(2) Seomra eitseála

Is é an seomra eitseála croí-struchtúr an trealaimh eitseála ICP. Tá tionchar díreach aige ar an ráta eitseála, ingearachacht an eitseála, agus an garbh. Is iad seo a leanas príomhchodanna an tseomra eitseála: leictreoid uachtarach, aonad minicíochta raidió ICP, aonad minicíochta raidió RF, córas leictreoid níos ísle, córas rialaithe teochta, etc.

(3) Córas soláthair gáis

Is é an córas soláthair gáis ná gáis eitseála éagsúla a sheachadadh chuig an seomra eitseála, agus an ráta sreafa gáis a rialú go cruinn agus an sreabhadh tríd an rialtóir brú (PC) agus an rialtóir sreafa mais (MFC). Tá an córas soláthair gáis comhdhéanta de bhuidéal foinse gáis, píblíne seachadta gáis, córas rialaithe, aonad meascáin, etc.

(4) Córas Fholúis
Tá dhá chóras folúis ann, ceann amháin don seomra folúis réamh agus an ceann eile don seomra eitseála. Déantar an seomra réamhfholús a aslonnú le caidéal meicniúil. Ní féidir an doras leithlisithe a oscailt chun an wafer a aistriú ach amháin nuair a shroicheann an leibhéal folúis sa seomra réamhfholús an luach socraithe. Soláthraíonn caidéal meicniúil agus caidéal móilíneach an fholús sa seomra eitseála. Déanann an córas folúis na gáis a ghineann an t-imoibriú sa seomra eitseála a aslonnú freisin.